凈化車間最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為凈化車間。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,凈化車間無塵是必然的要求。
凈化車間每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前凈化車間應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。5μm及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。
第一、重視源頭,加強凈化工程設計環節的控制
1、工程的規劃首先要加強對設計單位設計凈化工程圖紙質量的外部監督與審查。充分發揮潔凈室圖紙審查中心的職能作用,像工程質監站監督施工質量一樣,審查、監督設計質量。潔凈工程圖紙的質量高低是關系到此潔凈工程的建造成本控制等好壞的靈魂之物。
2、潔凈工程規范設計概算辦法,確立設計概算須經過工程標準定額造價管理站和建行等全面審定,以確定的投資限額作為取費基數,這樣可去除人為擴大設計規模與冒算的費用。
3、制訂設計獎懲制度。設計圖紙被審查中心確認為優秀設計的應給設計單位以特殊榮譽,對設計人員實施獎勵。
4、制訂“限額設計”標準。限額設計是工程建設過程中行之有效的控制方法,也是控制投資規模的有效措施之一。因此,盡快組織有關部門,按建筑的不同類型和規模和潔凈度要求,制訂出適宜的限額設計標準,作為設計部門的“對照表”是設計管理工作中的一項重要任務。
5、推進“四新”成果在工程設計中的應用。以新技術、新材料、新工藝、新設備,優化凈化工程設計的技術經濟指標,提高產業的科技含量,提高工程的綜合效益。