半導體工業是ji精mi的工業,當我們把計算機拆開之后,在電路板上一顆顆小小的 IC都有數百萬顆甚至數千萬顆的晶體管。為了讓這些ji小的晶體管妥善的工作,制造的過程bi須在無塵室內進行,集成電路制造的工廠動輒需要數十億、數百億的投資,多因為需要一個無塵室。
所謂的無塵室是一個人造的環境, 里面含有的粒子遠低于一般的環境, 隨著集成電路技術的快速成長, 也增加了對制造環境(無塵室)潔靜度的需求, 在工業上即使粒子之尺寸小于1 微米, 可能阻礙產品的運作或降低其壽命。 由于奈米技術的興起, 造成半導體關鍵尺寸持續縮小, 集成電路積集度不斷的增加, 塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。 例如當金屬塵粒地落到金屬導線時, 就可能會使金屬導線形成短路。 又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上, 可能將其腐蝕, 所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。
潔凈車間等級主要有哪幾種以及它們的用途。
1.1級:主要用于制造集成電路的微電子工業,對集成電路的精que要求為亞微米。
2.10級:主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。
3.100級:可用于醫藥工業的無菌制造工藝等,這一潔凈廠房大量應用于植如體內物品的制造,外科手術,包括移植手術,集成器的制造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術后的隔離治療。
4.1000級:主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質微型軸承等。
5.10000級:用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業,此外,萬級無塵車間在醫工業中也很常用。
6.100000級:適用于多種工業部門,比如光學產品及電子產品的制造。