主用于捕集＜0.5μm范圍內的顆粒、灰塵等各種懸浮物。利用超細玻璃纖維紙作為濾料，膠版紙、鋁膜等材料作為分割板，并與木框鋁合金膠合而成。每臺都是經納焰法測試，具有過濾效率高、阻力低、容塵量大等特點。
高效過濾器可被用于潔凈室末端位置，以結構形式可將其分為：有隔板高效、無隔板高效、大風量高效，超高效過濾器……同時，它還可被廣泛用于光學電子、LCD液晶制造、生物醫藥、精密儀器、飲料食品、PCB印刷等行業的無塵凈化車間空調末端送風位置。
除此之外，還有三種高效過濾器：
①超高效過濾器，它能做到99.9995%的凈化效果。
②抗菌型無隔板，具有抗菌作用，可有效避免細菌進入潔凈車間。
③亞高效過濾器，價格便宜，曾經多用于要求不高的凈化空間項目中。