混合型潔凈室是將單向流潔凈室與非單向流潔凈室混合于同一潔凈室內組合使用，這種形式既滿足產品生產的較嚴的潔凈度等級要求，又可降低建造、運行費用。混合流潔凈室的特點是需要空氣潔凈度要求高的區域使用單向流，其他區域為單向流，既滿足使用要求，也節省建造投資和運行費用。下圖為混合流潔凈室一種形式的示意圖，它是由兩側的垂直單向流潔凈區—工作區，空氣潔凈度等級及位ISO5級或更高；中間為非單向流潔凈區—走道、運輸通道和輔助設備區等，潔凈度等級一般為ISO6-ISO7級。單向流、非單向流的混合回風可經生產區域設備維修區或管道間，一部分回至集中凈化空調系統，另一部分回至單向流或FFU送風裝置等。目前混合流潔凈室應用十分廣泛，如果把產品生產過程要求空氣潔凈度十分嚴格的微環境+大開間潔凈室也是做混合流潔凈室，我們可以認為混合流潔凈室可應用于任何級別的潔凈室。
