潔凈技術是包含空氣凈化技術、空調技術、水資源凈化技術、氣體凈化技術、痕量雜質控制技術、清潔環境監測技術等。潔凈技術的應用主要通過潔凈室來實現。康德萊凈化表示，潔凈工程有多種分類方式：按用途分為工業潔凈室和生物潔凈室；按潔凈室構造分為土建式潔凈室和裝配式潔凈室；按氣流組織型式分為單向流潔凈室和非單向流潔凈室。
潔凈工程采用裝配式，非單向流動的工業潔凈室。預制的無塵室基于外部維護結構的完成，采用一定模數的隔斷構件進行現場裝配，特點是構造簡單、裝配方便、應用廣泛；非單向流潔凈工程的原理是“稀釋沖淡”作用，利用干凈空氣的不均勻擴散來稀釋室內的發塵量，以保持室內的潔凈度（適用于潔凈度6～9級），特點是結構簡單、造價低、維護費用低。
潔凈工程中最重要的指標是灰塵顆粒的濃度。從減少和控制室內灰塵顆粒的濃度來看，保證潔凈度的基本措施如下：
1）采用維持潔凈工程內的正壓，以確保高效過濾器的有效性和工程結構的緊密性，設置人、物凈化設施等措施來防止室外污染的直接侵入；
2）通過潔凈工程建筑內表面結構和設備管道的設計，防止微塵堆積；
3）通過合理規劃人員流動，物流和材料選擇，提高過程自動化水平并控制污染源，減少微塵產生量；
4）合理規劃空氣分配，以有效迅速地清除房間內產生的細微灰塵。潔凈工程中，根據國標GB50073—2013《潔凈廠房設計規范》，我國潔凈室內不同潔凈度等級對應的氣流流型和送風量。
電氣系統設計
質譜儀是一種精密儀器，集數字，模擬，計算機軟件和硬件，真空和離子光學技術于一體。潔凈工程中，對于電源的穩定性（一般電壓要求220×（1±0.05）v，頻率要求（50±0.5）hz）和連續性要求較高，電源性能好壞直接關系到質譜儀的正常運行與壽命。質譜儀常用的配電模式如下：
1）穩壓電源供電：來自主配電室的專用電源線在通過穩壓器后為質譜儀供電。潔凈工程在其中的特點是可以消除電網的變化與波動對質譜儀的影響，但穩壓電源不能穩定頻率和解決斷電問題，適用于電網穩定地區。
2）UPS（不間斷電源）供電：來自主配電室的專用電源線為UPS之后的質譜儀供電。UPS是質譜儀的理想電源，不僅在斷電時能繼續供電，而且還具有穩壓和穩頻的作用。質譜儀一般要求在斷電后能繼續工作一段時間，以便真空泵、電子元器件能夠平穩地啟停。潔凈工程中，UPS的供電時間取決于儀器設備需求，一般為1～4h。對于具有多臺質譜儀的實驗室，可以選擇一臺UPS集中供電或多臺UPS分散供電的模式。
根據國外經驗，凈化工程中，大型質譜儀通常會選擇為每個質譜儀分別配置UPS的分布式電源模式。目前，穩壓電源供電和UPS供電是質譜儀主流的供電模式，UPS供電模式雖然投資偏大，但綜合優勢非常突出，是大型質譜儀優選的供電模式。潔凈工程中采用每臺質譜儀單獨配置UPS的分散供電模式。