潔凈技術（cleanroom）是適應實驗研究與產品加工的精密化、微型化、高純度、高質量和高可靠性等方面要求而誕生的一門新興技術。潔凈室（cleanroom）這個名詞和概念源于18世紀六十年代的歐洲醫學，當時的理解僅限于經噴灑消毒后可以控制創部感染率的處置室、手術室這類滅菌處理的工作環境。現代潔凈室雖然延用了這個名詞，但在定義和內涵上都與原有的概念有根本的不同，現代潔凈室形成一項專門技術，其歷史不過只有半個世紀。
我國空氣過濾器潔凈技術的發展大致可分為以下幾個階段：
● 20世紀60年代開始—— 為三線建設服務—— 初創發展階段；
● 7 0年代～80 年代中—— 為大規模集成電路會戰服務—— 第一次大普及；
● 8 0年代中期～現 在—— 為醫藥行業生產環境現代化服務（GMP、潔凈手術室建設等）— 第二次大普及。
1）從20世紀50年代中期到60年代中期，主要借鑒前蘇聯的技術，服務于國防、航天、原子能工業與科研。與現代潔凈技術相比，在廠房、設備、氣流組織等各方面還都比較原始和粗糙，屬于起步階段。
2）從20世紀60年代中期到70年代后期，由于國內外的種種原因，主要靠自力更生發展。當時參照了美國和日本的標準和技術，逐步研制成高效過濾器和納焰法 試驗臺、潔凈工作臺、粒子計數器、裝配式潔凈室及其他潔凈室附屬設備（風淋室、傳遞窗、余壓閥等），編制了“空氣潔凈技術措施”，奠定了我國潔凈技術的基礎
3）從20世紀70年代末到80年代末，由于實行了改革開放的國策，發達國家的技術與設備開始進入我國市場，現代潔凈技術在我國的大規模集成電路、光導纖維、彩色顯像管、液晶顯示屏等工業潔凈領域得到迅速發展，裝備0.1um高效過濾器的10級潔凈小室和無隔板過濾器研制成功。同時在醫療、制藥、生物、化妝品與食品行業生物潔凈室也得到應用，一些制藥廠對原有空調系統的改造中開始采用生物潔凈技術，簡易的水平“單向流”潔凈室和裝配式無菌病房用于醫院，生物安全工作臺和細菌采樣儀研制成功。1982年我國醫藥行業GMP公布，1983年中國電子學會潔凈技術分會成立，1985年GBJ73-1984《潔凈廠房設計規范》頒布，我國的潔凈技術進入穩步發展階段、
4） 20世紀80年代末至今，在大規模集成電路領域全面引進境外資金、技術與設備，形成一批知名的國際品牌企業，潔凈室的規模越來越大，風機過濾機組（FFU）和微環境技術得到應用和推廣。在醫療和制藥領域潔凈技術趨向成熟與規范，生物安全技術發展迅速。包括微環境、密褶型無隔板高效過濾器、微計算機控制過濾器性能測試臺等潔凈技術相關的技術設備基本可以實現國產，同時還開始了0.1um光刻機及相關環境的研制。
我國的空氣潔凈技術經歷了50多年的發展，已經形成相當完整的技術體系和廣闊的應用市場，但必須看到，由于種種原因，在潔凈技術的高端領域和市場，我國還存在差距、缺少話語權，還需要科技和工程技術人員的不斷努力。
現在，我國的潔凈室技術已發展到以下水平。
①從軍工走向民用——制藥、醫療、食品；
②從高精走向普及——不僅高精尖產業要求，一般民需產業和家庭生活也出現大量需求；
③從國內走向國外——空氣凈化產品和潔凈室工程已走出國門。