我們首先要知道一下,無塵車間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。
無塵車間是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間的級別包括1級無塵車間、百級無塵車間、千級無塵車間以及十萬級無塵車間等。
千級無塵車間是什么意思?
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱級別中的千級。
千級無塵車間的標準,微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內千級無塵車間的意思。(1000級的概念是:每立方英尺內,大于等于0.5的灰塵顆粒不能超過1000顆)。
無塵車間等級標準劃分 潔凈度等級標準ISO14644根據懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室(區)及相關受控環境中空氣潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)0.1um~0.5um范圍內累計分布的粒子群。根據粒子徑,可以劃分為常規粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。