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潔凈室的清潔

來源: 時間:2016-05-21 08:52:16 瀏覽次數:

人們常常會聽到這樣的說法:“潔凈室中的污染又看不見,沒什么好清潔的。”“清潔前與清潔后的潔凈室都一樣干凈,所以不需要清潔”。這兩種說法反映了對潔凈室清潔維護工作的一般態度。潔凈室并不僅僅是工業生產活動的一個一般的組成部分,潔凈室就是而且也應當被看作是整個生產系統的中心部分,因為一系列關鍵工藝步驟必須在其中進行。那么究竟有沒有必要對潔凈室進行定期的清潔維護呢?

在講到清潔維護的重要性之前,我們先在認識一下潔凈室中的四大污染來源。

■ 潔凈室中的工具設備在運轉的過程中會向潔凈室空間擴散粒子

■ 潔凈室中的產品也會向潔凈室空間擴散粒子

■ 潔凈室中的設施,例如地面、墻面、天花板等,一刻不停地擴散著粒子

■ 潔凈室中的人員是污染的主要來源,潔凈室中的污染有80%都來自于人員散發的粒子

既然潔凈室有這么多污染來源,為什么潔凈室“看上去”還那么干凈呢?那是因為我們肉眼只能看到粒徑大于50um的塵粒,需要用顯微鏡才能看到小于50um的塵粒。(如下圖所示)而對于許多精密制造業來說,例如芯片制造業,任何大于0.1um的塵粒都會對產品造成危害。此時,就需要通過潔凈室和污染控制技術來達到合格的生產環境。

我們知道,潔凈室可以通過送風系統達到自凈的目的,但是通過循環風系統只能去除一部分污染,仍會有大量的污染物在重力作用和布朗運動的作用下造成堆積。堆積在表面的污染物并不是靜止不動的,污染物會通過表面直接或通過空氣和人員等媒介間接地與產品發生“接觸”,這種“接觸”就會對產品造成污染,導致產品不良。

此時,對潔凈室進行定期的清潔維護就顯得非常有必要了。我們進行清潔維護的目的首先在于去除污染,已達到潔凈室設計建造時預期的潔凈度,但最終還是為了保護我們的產品不受污染,提高產品的優率。因此,我們可以將潔凈室清潔維護定義為:“從潔凈室內或潔凈區內重要性各不相同(對潔凈度而言)的表面,釋放出所有不希望的污染物,并把它們收集起來清除掉。”

我們可以把清潔工作分為兩大范疇,預防性清潔和主動清潔。預防性清潔就是,防止產生污染物及防止外部環境的污染物傳入到潔凈室環境,或者使其達到最小;防止污染物在關鍵區域中擴散。為主動清潔所采取的全部準備措施,也屬于預防性清潔。而主動清潔則是將污染物從關鍵區域中釋放出來。這里,我們重點講一下主動清潔的方法和原則。

根據所使用的工具不同,主動清潔的方法可以分為干法和濕法。干法就是使用真空吸塵器,或者是干的工具或粘著方法進行清潔。使用干法只能去除部分塵粒,粒子越小,其附著在表面的力就越大,并且粒子附著在表面的時間越長,就越難以將其清除。濕法清潔是對干法的有效補充。附著在表面的較小粒子,很難用真空吸塵器吸走,因為真空吸塵器達不到清除粒子所需的風速。此時,使用無塵拖把或無塵布配合清潔溶劑進行清潔就能有效地去除污染。同時,為了避免交叉污染,清潔時還應遵循從上到下,從里到外的清潔原則,并采用直線方向部分重疊的擦拭方法。

總之,定期對潔凈室進行清潔維護對于潔凈室性能的維持有著重要的意義。作為潔凈室工作者,一定要重視這項看似簡單的工作。

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